摘 要：半導體生產(chǎn)制造業(yè)在國民經(jīng)濟中起著舉足輕重的作用，相關企業(yè)的規(guī)模也越來越大。其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關系到產(chǎn)品質量和生產(chǎn)的順利進行。而半導體行業(yè)中大部分工藝設備對電能質量比較敏感，電壓暫降、諧波等電能質量問題會導致設備損壞、生產(chǎn)材料報廢等產(chǎn)生較大的經(jīng)濟損失。因此，需要對半導體行業(yè)裝設電能質量監(jiān)測裝置來監(jiān)測供電的電能質量。

關鍵詞：半導體；電能質量；電壓暫降；諧波

      一項目概況

      在國家政策的引導下，電子行業(yè)發(fā)展迅速，同時新建了大量電子行業(yè)工廠。工廠用電量大且大部分工藝需要不間斷運行，配電系統(tǒng)結構復雜，設備一旦意外斷電會導致重大損失，這就需要對供電可靠性要求非常高，對故障比較敏感；大部分工藝設備對電壓、電流比較敏感，電壓電流的變化會導致設備損壞、生產(chǎn)材料報廢等問題；并且工廠電壓等級比較多，出于供電可靠性要求和工藝設備需要電壓等級不同，工廠配電電壓從110kV到66kV、35kV、10kV、0.48kV、0.4kV不等，涉及的各電壓等級變壓器數(shù)量非常多。針對以上情況，需要配置電能質量監(jiān)測裝置來監(jiān)測用電電能質量情況，為后續(xù)改善電能質量提供依據(jù)。  

      某半導體有限公司成立于2018年05月29日，注冊地位于四川省成都高新區(qū)。經(jīng)營范圍包括OLED等平板顯示屏材料、電子材料及其相關產(chǎn)品的研發(fā)、測試、生產(chǎn)、銷售、技術服務、技術咨詢及其售后服務；提供分撥、保稅倉儲（不含危險化學品）、保稅加工服務；國際貿易、轉口貿易、保稅區(qū)企業(yè)間貿易以及區(qū)內貿易代理；電子產(chǎn)品及其零部件、相關化工原料（不含危險化學品）的進出口、批發(fā)、傭金代理（拍mai除外）及相關配套業(yè)務（國家禁止或涉及行政審批的貨物和技術進出口除外）。

     二項目需求

      本次項目為某半導體有限公司10/0.4KV用戶變電站項目，該變電站供電系統(tǒng)為單母線供電系統(tǒng)，共設一面高壓進線柜、一面計量柜、一面母線PT柜和四面專變出線柜。由于該公司主要生產(chǎn)電子材料、芯片等半導體設備，而半導體芯片制造生產(chǎn)中主要存在以下電能質量問題：

      1、諧波問題

      IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導體機臺都會產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會造成機臺設備自身的壞機現(xiàn)象，回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其他回路的發(fā)熱、電子開關誤動作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報廢。而且高能設備如：外延設備、擴散設備、離子注入設備的頻繁加卸載，更加重了用電環(huán)境的惡化。

      2、電壓暫降及中斷

      現(xiàn)代化的半導體生產(chǎn)設備對電力品質問題非常敏感，相對于傳統(tǒng)工業(yè)來說，半導體、LCD制造對電壓暫降非常敏感，持續(xù)16ms的幅值為額定值85%-90%電壓暫降即可能導致設備停機。電壓暫降與短時中斷的差別在于短時中斷時負載一般與供電系統(tǒng)基本斷開（幅值低于額定值的10%），而電壓暫降發(fā)生時負載仍與電源連接。對于半導體行業(yè)而言，兩者均會造成設備停機，產(chǎn)生的結果是相同的，但是電壓暫降發(fā)生的幾率遠高于短時中斷會發(fā)生的幾率。調查顯示：在所有配電系統(tǒng)事故中，電壓暫降引起的事故占了70%-80%；而在輸電系統(tǒng)事故中，電壓暫降引起的事故所占的比例超過了90%。

停機的概念在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)中只是生產(chǎn)暫時的中斷，而對半導體、LCD生產(chǎn)來說就是一次災難。因為半導體、LCD生產(chǎn)設備的停機會造成大量直接損失和間接損失。這些損失包括：

      1）直接損失：半導體產(chǎn)品硅片損壞和浪費、設備壽命縮短甚至損壞、清理產(chǎn)線的人工成本等。

      2）間接損失：重新啟動生產(chǎn)線需要的時間、降低產(chǎn)品品質、延誤交貨時間等。

      國家發(fā)改委經(jīng)濟調節(jié)運行局曾開展了電能質量經(jīng)濟性影響調查，經(jīng)過大量的調研與分析，都表明電壓暫降與短時中斷都是*為顯著的電能質量問題，成為供用電雙方共同面臨的挑戰(zhàn)。其中半導體行業(yè)因電能質量擾動帶來的生產(chǎn)損失高居前位。

因此，為了實時監(jiān)測供電的電能質量，在本項目的高壓配電進線柜處裝設一臺電能質量監(jiān)測裝置APView500，同時為了保證整個配電系統(tǒng)日常安全穩(wěn)定運行，在每面高壓開關柜裝設一臺AM5系列微機保護裝置和一臺ASD200智能操控裝置；為了監(jiān)測各回路的電能，在每面高壓開關柜和低壓柜均配置我司的多功能儀表。各類設備主要實現(xiàn)的功能如下：

      三系統(tǒng)需求

      為實時監(jiān)視整個配電室的運行以及數(shù)據(jù)采集，該項目配置一套Acrel-2000Z電力監(jiān)控系統(tǒng)，其可實現(xiàn)的功能如下：

      實時監(jiān)測；電參量查詢；運行報表；實時告警；歷史事件查詢；故障錄波；事故追憶；曲線查詢；用戶權限管理；遙控功能；通信管理

      四現(xiàn)場安裝圖片

      本項目各類設備均就地安裝于開關柜中，電力監(jiān)控系統(tǒng)主機放置于高壓配電房值班室內中，現(xiàn)場安裝圖片如下。

圖1現(xiàn)場圖片

      五現(xiàn)場運行情況

      本項目自裝設電能質量監(jiān)測裝置起，對電力系統(tǒng)中出現(xiàn)的故障情況均可靠監(jiān)測，在此過程中，出現(xiàn)多次電壓暫降，事件記錄如圖6。去年2022年10月份由于限電，出現(xiàn)過一次電壓暫降，暫降深度為1380V，持續(xù)時間為0.039s，如圖7；2023年1月23日發(fā)生過一次電壓暫降，暫降深度為2999V，持續(xù)時間為0.620s，由于春節(jié)期間，用戶單位放假，所有設備均停運，故未造成損失，如圖8；圖9為2月9號電力系統(tǒng)發(fā)生故障造成的電壓暫降事故監(jiān)測界面，暫降深度為3453V，持續(xù)時間為0.637s，造成現(xiàn)場所有變頻器均停機，且照明燈也出現(xiàn)閃變的現(xiàn)象，該事件記錄的時間和故障類型均和電力公司反饋的情況吻合，得到用戶的認可。

     六結語

      半導體滲透到我們工作、生活的方方面面，隨著生活水平的提高，我們對芯片制造需求也越來越多。但伴隨信息技術的飛速發(fā)展，基于計算機、微處理器的用電設備和各種電力電子設備在電力系統(tǒng)中大量投入使用，它們對系統(tǒng)干擾比機電設備更加敏感，對供電質量的要求也更為苛刻，相對低劣的電能質量嚴重影響了靈敏設備的安全運行。本文介紹的電能質量監(jiān)測裝置可以針對供電電能質量起到監(jiān)測作用，為電能質量治理提供可靠依據(jù)。

參考文獻

[1] 安科瑞企業(yè)微電網(wǎng)設計與應用手冊.2020.6月版

[2] 安科瑞用戶變電站綜合自動化與運維解決方案.2021.11月版